ESC主任/资深主任工程师

岗位所需知识与技能 1.熟悉静电卡盘的应用，尤其是在等离子体环境下的防Arcing经验； 2.熟悉静电卡盘的材料，尤其是Al2O3、ALN等材料的特性，金属电极材料特性，Coating材料的特性及其原理； 3.熟悉静电卡盘的制造流程，深度参与分析制造过程中的问题，包括但不限于陶瓷晶粒对lifetime的影响机理，金属电极制造过程中出现的局部变形机制等； 4.熟悉射频等离子体对静电卡盘的影响，针对不同结构的静电卡盘在刻蚀过程中异常结果的分析能力； 5.熟悉热-固-流场仿真，能够基于仿真结果提出静电卡盘的优化方向； 6.熟悉静电卡盘清洗，检测等能力优先； 7.具备机械绘图与仿真能力优先 8.具有半导体行业10年以上经验，尤其是ICP刻蚀领域，熟悉静电卡盘的原理； 需求人员岗位职责 1，针对ICP机台开发适配的静电吸盘 2，对接供应商，优化供应商制造过程中的SPEC，协助完成静电吸盘关键工艺的制造 3，针对CIP需求，优化静电吸盘； 4，培养团队成员的整理设计与应用能力，针对应用过程中出现的问题，给出指导及其原理性分析。