半导体光学检测负责人

半导体光学检测负责人岗位职责与任职要求 一、岗位职责 技术规划与平台建设 • 主导半导体光学检测实验室/平台建设，制定技术路线图，建立光学检测标准体系（如SEMI标准）和SOP流程 • 负责光学检测设备选型与验证（如明场/暗场检测系统、椭偏仪、光谱反射仪等），预算控制与资源调配 核心技术开发 • 领导开发14nm以下节点的缺陷检测方案（颗粒、图形缺陷等），优化光学成像算法（如AI驱动的缺陷分类） • 开发新型检测技术（如计算成像、相干衍射成像），提升DUV掩模检测精度 跨部门协作 • 联动工艺团队分析检测数据，建立缺陷-工艺参数关联模型，推动良率提升 • 协同设备厂商开发定制化检测模块（如HBM芯片的TSV三维检测） 团队与项目管理 • 组建10+人光学检测团队，负责技术培训与梯队建设 • 主导重大检测技术攻关项目（如国家02专项子课题），确保里程碑交付 二、任职要求 硬性条件 • 学历：光学工程/物理电子学博士（QS200院校优先） • 经验：8年以上半导体检测行业经验，3年团队管理经历，主导过2个以上量产检测项目 • 技术栈： • 精通Zemax/Code V光学设计，掌握LightTools/TracePro光路仿真 • 熟悉半导体28nm以下工艺缺陷特征（如LER、桥接等） • 具备Python/Matlab算法开发能力（如图像处理、机器学习） 核心能力 • 能解读SEMI E142等国际检测标准，制定企业内控规范 • 掌握光学检测设备核心参数（如NA值≥0.9，照明均匀性≤3%） • 熟悉国内外检测设备生态（如KLA Surfscan、Lasertec MPM系列） 优先条件 • 有EUV检测设备开发经验者优先 • 主导过国产检测设备替代项目者优先 • 持有光学检测相关专利（前3发明人）