机械设计工程师（基座 / 结构方向）

岗位职责 1. 负责半导体设备整机基座、机架、框架及基础支撑结构的方案设计与详细设计，包括铸件、焊接件、铝型材结构及钣金组件； 2. 主导基座的力学分析与优化，涵盖静刚度、动态特性（模态 / 振动）、热变形及长期稳定性计算，确保设备满足亚微米级乃至纳米级的精度基座要求； 3. 完成 3D 建模（SolidWorks / Creo）、工程图输出、BOM 编制，制定公差与配合体系，控制装配累计误差； 4. 负责减振隔振方案设计，包括气浮隔振、阻尼减振、水平调整机构等，匹配设备对环境振动的严苛要求； 5. 协调铸造、焊接、机加工供应商，跟进首件试制、尺寸检测、时效处理及精度检验流程，输出工艺技术要求； 6. 与光学、运动控制、真空、工艺等子系统团队协同，完成基座接口定义、载荷分配及整机布局集成； 7. 主导设计验证与迭代优化，处理样机阶段的精度、振动、热变形等问题，输出设计规范与验收标准。 任职要求 1. 机械设计、机电一体化、精密仪器等相关专业，本科及以上学历，硕士优先； 2. 2年以上精密机械设备基座 / 机架 / 基础结构设计经验，有半导体设备、光刻设备、精密测量仪器、真空设备、数控加工中心机架设计经验者优先**； 3. 精通结构力学分析，熟练使用 ANSYS / Abaqus 或同类仿真工具，能独立完成静力学、模态、热变形分析并指导结构优化； 4. 熟悉铸铁件、焊接件、花岗岩基座等常用基座材料的铸造、焊接、时效、加工工艺及精度控制要点； 5. 精通 GD&T 几何公差标注，理解误差分配与精度传递链，具备从整机精度要求反推基座公差的能力； 6. 熟悉气浮隔振、被动 / 主动减振方案，了解洁净室、恒温恒湿环境下的结构设计约束； 7. 具备良好的技术文档撰写能力和跨团队沟通能力，能独立承担子系统负责人角色。 优先条件 - 有光刻、量测、键合、CMP 等高精度半导体设备基座开发经验； - 熟悉有限元仿真在基座轻量化与高刚性平衡中的应用； - 有从概念设计到量产交付的完整项目经验。