资深光刻设备工程师

岗位职责: 1、设备维护与校准:负责光刻设备(光刻机、涂胶显影机 Track、量测设备等)的预防性维护(PM)计划制定与执行，定期进行设备校准与精度验证，保障设运行成功率与测量精度; 2、稼动率提升:负责设备异常快速响应与根因排查提出改善及预防措施，持续提升设备 Up Time;配合工艺部门处理因设备导致的 CD 偏差、套刻异常、胶厚不均等产品质量问题; 3、新设备导入:参与新设备的安装、调试、验收(T1/T2)与工艺验证，制定机台验收规格并输出验收报告;负责设备技改与国产化替代评估; 4、标准化建设:建立责任机台的操作、维护保养标准化作业指导书(SOP/OI)并持续修订;建立机台备件清单，制定备件使用周期，配合完成 Cost Down 项目; 5、带教与跨部门协作:带教新人及技术员，与工艺制造、质量部门保持高效沟通，及时处理设备相关异常，保障产线顺利运行。 任职要求： 1、本科及以上学历，机械、电子、自动化、光学工程、微电子等理工科相关专业; 2、5 年以上半导体 FAB 光刻设备维护经验，熟悉光刻机(ASML、Nikon、Canon 任一机型)及配套Track 机台的结构与维护; 3、具备独立排查与解决设备硬件 /软件异常的能力，熟悉光刻设备的光路、工件台、掩模台等核心子系统: 4、熟悉设备 PM 体系、备件管理与 Cost Down 流程，具备新设备导入与验收经验者优先; 5、工作积极主动，具备良好的沟通能力与团队协作精神，能适应 Fab 工作环境。