光源电子系统控制工程师

岗位描述 1、光源系统控制架构设计： 负责整体控制架构，涵盖上层协调控制、运行状态机、实时反馈控制、时序分配及子系统接口。 输出功率、稳定性、可用率及故障恢复要求分解为可量化的控制指标和验收标准。 根据延迟、抖动、带宽及可靠性要求，合理分配软件、实时处理器、FPGA 及专用控制器的功能。 制定接口控制文件，明确各模块的指令、状态、数据交换、时序、故障处理及职责边界。 负责时序触发和能量控制架构和算法部署(Time and energy control loop and algorithms)。 2.实时时序与反馈控制： 设计锡滴检测、轨迹预测、激光触发、多脉冲序列及诊断采集的同步控制方案。 建立整机时序预算，分析并验证各链路的端到端延迟和抖动。 牵头激光指向、锡滴瞄准、脉冲能量及EUV 输出稳定等反馈控制功能的集成。 分析多个控制回路之间的耦合，协调控制带宽、测量延迟、执行器限制及扰动传播。 任职要求 1、控制工程、电气工程、机电一体化、应用物理、计算机工程或相 关专业硕士或博士学历。 2、具备 8 年以上复杂装备控制相关经验，并承担过系统架构或系统集成的核心职责。 3、具有 LPP EUV 光源、高功率激光系统、半导体设备或类似高复杂度精密装备的研发与调试经验。 4、熟悉实时控制、分布式系统、状态机、确定性通信及软硬件接。 5、 具备同步控制、延迟与抖动分析、反馈控制及系统级故障诊断的实践经验。 • 能够将物理过程和设备性能需求转化为可实现、可测试的控制功能。 • 具备控制系统验证、现场调试及结构化根因分析能力。 • 熟练使用 C/C++、Python、MATLAB/Simulink 等相关开发或分析工具。