MEMS工艺整合高级工程师

一、 岗位职责 (一) 对接实验Fab： 1. 主导MEMS新工艺、新结构、新产品的工艺方案评估、流程设计、工艺合并及可行性验证，输出完整的工艺整合方案。 2. 跟进晶圆制造全流程工艺，协调光刻、刻蚀、薄膜、键合、研磨等各工序工艺问题，快速定位制程异常、分析根因并落地整改优化方案。 3. 负责项目工艺文档梳理、更新与归档，包括工艺流程图、工艺规范、异常报告、验证报告等。 (二) 对接量产代工Fab： 1. 与代工Fab合作负责MEMS器件整体工艺整合工作，统筹产品从研发试产、工艺验证到批量量产的全流程工艺落地、调试与优化。 2. 对接代工Fab项目团队，推进MEMS项目节点落地，保障研发和量产项目按期交付。 3. 针对产品FT和可靠性失效，与设计人员合作提出失效分析方案，并实施失效分析并制定改善计划。 二、任职要求 1. 学历专业：本科及以上学历，微电子、半导体、物理、材料、机械电子等相关专业；硕士及以上学历优先。 2. 工作经验：具备3年及以上全职MEMS产品工艺整合工作经验，熟悉MEMS器件研发、试产、量产全流程工艺整合逻辑。 3. 技能要求：熟练掌握MEMS主流制程工艺，熟悉光刻、干法/湿法刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、减薄研磨等核心工序原理及工艺匹配逻辑，具备独立处理工艺异常、优化工艺方案的能力。 4. 项目经验（优先条件）：有MEMS压电器件、振荡器等相关工艺整合项目经验者优先，有器件工艺定型、批量量产落地经验者优先。 5. 综合能力：具备良好的问题分析能力、逻辑思维能力和项目推进能力，沟通协调顺畅，工作严谨负责，能够适配研发到量产项目节奏。 6. 熟练使用办公及工艺相关工具，能够独立输出工艺方案、验证报告、问题复盘报告等技术文档。